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磁気ディスク基板の研磨特性におけるパッドの影響＊

安打: https://unit.aist.go.jp/kyushu/k-kyougikai/news/2012/news-86.pdf

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2012-5-11 · アルミディスク基板の1Pにおいて硬いパッドは，図2の通り被研磨物への押し込み深さが深く1），除去能力が高い．1Pの目的の長波長うねりの低減についても良化がみ